115年度國科會工程處先進矽基半導體設備關鍵技術研發專案計畫

國科會工程處

・國科會工程處推動「先進矽基半導體設備關鍵技術研發專案計畫」，旨在支持國內半導體製造設備的發展。此計畫鼓勵機械、材料、物理化學、電機控制等相關領域的研究團隊，結合資訊軟體或 AI 技術，針對半導體前段製程設備的關鍵元件、模組或次系統，以及半導體 3D IC 先進封裝製造測試設備、矽基半導體檢測設備等，進行關鍵技術研發與應用整合。申請機構及計畫主持人須符合國科會補助專題研究計畫作業要點相關規定，並透過線上系統提交申請。
・申請對象（須全部符合）：申請機構、計畫主持人及共同主持人須符合國科會補助專題研究計畫作業要點相關規定
・不可申請：計畫主持人已申請一件本專案計畫
・針對半導體前段製程設備之關鍵元件、模組或次系統進行關鍵技術研發
・針對半導體 3D IC 先進封裝製造測試設備進行關鍵技術研發
・針對矽基半導體檢測設備進行關鍵技術研發
・於設備上應用整合
・申請方式：全面實施線上申請，並備函送達國科會
・重要時間點：專案計畫徵求說明會 2026/01/13 下午 2 時（視訊會議）
・注意事項：本專案計畫未獲補助案件恕不受理申覆；線上申請時，請選擇「專題類-隨到隨審計畫」、計畫類別「一般策略專案計畫」、計畫歸屬「工程處」、研究型別「整合型計畫」、學門代碼「E9885半導體設備關鍵技術研發」

即日起至 2026/02/25

電話：專案計畫承辦人 (02) 2737-7390；資訊系統服務專線 0800-212-058、(02) 2737-7590、2737-7591、2737-7592

實際補助金額與詳細內容請參閱附件徵求公告，頁面未提供。